Tektronix 泰克
Tektronix 泰克Keithley? 6514可編程靜電計產品介紹：
產品型號：Keithley 6514
產品品牌：Tektronix 泰克
產品類別：靜電計
產品備注：可編程靜電計
Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計產品概述：
6514型靜電計具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優于我們之前的靜電計。6514內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統，用于低電平測試。
Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計產品特點：
6514 型靜電計將靈活的接口功能與電流靈
敏度，電荷測量功能，分辨率和速度相結合， 這些功能等于或優于我們以前的靜電計。6514?型的內置 IEEE-488，RS-232?和數字I
/ O 接口使配置用于底層測試的全自動，高速系統變得簡單。
5?位的 6514?型設計用于要求快速而精確地測量低電流，高電阻源電壓，電荷或高電阻的應用。
6514?型卓越的測量性能以合理的價格提供。盡管其成本可以與許多高端數字萬用表相媲美， 但 6514?型具有比其他儀器所能提供的更高的電流靈敏度和更低的電壓負擔（低至 20μV）。
經濟組件測試
曾經，靜電計被簡單地認為太慢而無法滿足生產測試應用程序所要求的高吞吐量。6514?型號專為快速，靈敏的測量而設計，通過快速積分可提供高達每秒 1200?個讀數的速度，而通過 60Hz?線周積分可提供每秒 17?個測量值。它對 2nA?信號提供 10fA?分辨率，僅需 15ms?即可將其穩定在最終值的 10％之內。60dB?的正常模式抑制比（NMRR）允許進行精確的低電流測量，即使在存在線路頻率感應電流的情況下，這也是生產車間環境中普遍關注的問題。儀器的靈敏度使得使用串聯電。
阻器可以輕松確定高達 10nF 的電容甚至更高電容的泄漏電阻。
盡管 6514?型可以使用前面板控件輕松地手動操作，但也可以在外部進行自動化測試應用的控制。內置的 IEEE-488?和 RS- 232?接口使其成為可能
圖 1.負載電壓未經校正的暗電流測量
圖 2.校正負載電壓后的暗電流測量
圖3.使用數字萬用表進行測量時，由于負載電壓引起的錯誤
下面的示例將DMM?的電壓負擔誤差與 6514?的誤差進行了比較。
DMM 補償電流
通常，數字萬用表中的失調電流為數十或數百皮安，與具有3fA?輸入偏置電流的 6514?型號相比，這嚴重限制了其低電流測量能力。
通過計算機控制器通過總線對儀器的所有功能進行編程。儀 器的接口還簡化了將外部硬件（例如信號源，開關系統或其 他儀器）集成到測試系統中的過程。數字 I?/?O?接口可用于將 Model 6514?鏈接到許多流行的組件處理程序，以便在裝箱， 分類和類似應用中進行緊密的系統集成。
這些功能使 6514?型成為設計用于測試光學設備和低值電容器，開關及其他設備上的泄漏電阻的系統的強大，低成本工具，尤其是在測試系統 已包含電壓源或源電流/測量電壓技術用于確定電阻。
低電壓負擔
6514?型的反饋電流表設計使輸入電路中的電壓偏移最小化，這會影響電流測量精度。該儀器還可以通過前面板控件手動或通過總線使用IEEE-488?命令主動取消其輸入電壓和電流偏移。
暗電流測量
當測量來自諸如光電二極管之類的設備的暗電流（圖 1）時， 電流表讀取兩個不同電流之和。第一個電流是檢測器產生的暗 電流（ID），沒有光照射到設備上（換句話說，就是感興趣的信號）；第二個是電流表端子上出現的電壓負擔（V負擔）產生的泄漏電流（IL）。在反饋電流表中，主要的“電壓負擔”是放大器的失調電壓。該泄漏電流表示誤差電流。不使用抵消技 術，IL= V?負擔/?RL。圖 2?說明了 6514?型調整了 CAL V 抵銷以將V?負擔抵消到幾微伏的電壓噪聲水平內，因此測得的電流僅為真正的暗電流（ID）的光電二極管。以類似的方式，也可以抵消偏置電流。早期的靜電計使用內部數字校正技術，其中仍然存在電壓負擔，因此測得的暗電流包括誤差項 IL= V 負擔/ RL。
電壓負擔和測量誤差
靜電計可提供比進行 DMM?測量時更低的端子電壓進行電流測量。如圖 3?所示，數字萬用表使用分流電阻測量電流，該分流電阻會在輸入電路中產生一個電壓（通常為 200mV?全量程）。這樣會產生約 200mV?的端電壓（V?負擔），從而降低了測得的電流。靜電計通過使用圖 1?所示的反饋電流表配置來降低此端子電壓。6514 型可通過消除噪聲來進一步降低該端子電壓，使其達到電壓噪聲的水平。剩下的很小的失調電壓，如圖 2 所示。與使用數字萬用表測量電流時發生的誤差信號相比，可以忽略的任何誤差信號。
應用
?高電阻率測量
?離子選擇電極
?pH 測量
?電導池
?電位計
筆記
1 .正確置零后，為 5?位。速率：慢（積分時間為 100ms）。
最大開路電壓：250v dc。
預放大器設置時間（在<100pF 輸入電容時達到最終讀數的 10％）：2k ?至 200k ：2ms；20M 200M ：90ms。2G 至 200G ：1s。
Tektronix 泰克Keithley 6514可編程靜電計產品技術指標：
| 主要技術指標 | ||
| 型號 | KEITHLEY6514 | KEITHLEY6517B |
| 電流測量 | <1fA（包含噪聲）～20mA | |
| 電壓測量 | 10?V（數字分辨率極限，可能含有噪聲）～200V | |
| 電阻測量 | 10Ω～200GΩ | 100Ω～10PΩ |
| ***電阻精度優于1%，電阻精度優于10% | ||
| （使用236、237、238測量，通過加電壓測電流或加電流測電壓實現，不直接顯示阻值） | ||
| 電荷測量 | 10fC（數字分辨率極限，可能含有噪聲）～20?C | 10fC（數字分辨率極限，可能含有噪聲）～2?C |
| 特性插頭 | 3?Slot?Triax | 3?Slot?Triax |
| IEEE-488 | 有 | 有 |
| RS-232 | 有 | 有 |
| Guard | 有 | 有 |
| CE | 有 | 有 |
| 其它 | 5?1/2精度，替代6512、617-HIQ | 5?1/2精度，內置±1kV電壓源。濕度、 |
| 溫度測量。采用交替電壓極性法測高阻 | ||
| 可配置多通道的掃描卡 | ||
| 附件 | 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜， | 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜， |
| 鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線 | 鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線， | |
| 8607安全型高壓雙路測試線， | ||
| 6517-TP熱電偶探針， | ||
| CS-1305互鎖連接頭 | ||
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